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晶圓生產完成后，需要對其進行各種參數的檢測，在檢測的過程中，需要在不同溫度下進行測試，晶圓測試用溫控設備（晶圓測試溫控系統）是高精度，高分辨率，高穩定性的控制設備。

PTHC防爆高低溫一體機和高低溫一體循環機配備人性化7英寸真彩LCD觸摸屏，良好的人機交互界面，直觀顯示本機參數及外部控溫參數，智能觸控，操作便捷。

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高低溫循環器主要應用于高壓反應釜、中試生產不銹鋼反應釜、雙層玻璃反應釜、夾套反應釜、微通道反應器、反應裝置、組合化學等冷熱源動態恒溫控制以及制藥行業中的低溫蒸餾、精餾、萃取等設備中。

TCU溫度控制系統配有先進的泵技術，優化熱傳遞，可調控泵確保液體循環和高流量，有效防止玻璃反應釜因軟啟動導致損壞，延長導熱油使用壽命，密封的液壓系統防止導熱油氧化。

高低溫循環裝置結構復雜，可以分為溫度控制系統、真空系統和循環系統等三部分。其中，溫度控制系統是關鍵部分，主要由加熱系統、制冷系統、控制器、傳感器等組成。

高低溫循環系統包括以下幾個基本組成部分：高溫熱源、低溫熱源、工作介質、循環泵、蒸汽發生器、冷凝器、液態儲罐等。